Keithley 4200A-SCS 参数分析仪
4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪，可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块，可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换，而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是*高性能的分析仪，可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
功能和特点
特点 |
优势 |
| 将源测量单元、C-V 单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统 | 快速、清晰和准确地执行 I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量 |
| Clarius™ 基于 GUI 的软件，支持触摸或鼠标控制 | **测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能，实现清晰、**的测量和分析 |
| 内置上下文相关的测量视频和 450 多种应用测试 | 快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导 |
| I-V 源测量单元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块，100 fA 测量分辨率，以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率 |
| C-V 多频率电容单元 (CVU) | 交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 频率范围 |
| I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端，而无需重新布线或抬起探针 |
| 脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU) | 两个独立或同步的高速脉冲式 I-V 源和测量通道；200 MSa/s，5 ns 采样率；利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安 |
| 高电压脉冲发生器单元 (PGU) | 两通道高速脉冲电压源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可完全定制和升级 | 现在或以后均可根据需要随时添加模块 |
模块
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产品技术资料 |
模块 |
说明 |
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4200-BTI-A |
ULTRA FAST BTI PKG |
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4200-PA |
REMOTEPREAMPLIFIER MODULE |
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4200-SMU |
MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4200A-CVIV |
MULTI SWITCH |
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4210-CVU |
CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT |
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4210-SMU |
HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4220-PGU |
双通道脉冲发生器 |
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4225-PMU |
ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT |
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4225-RPM |
REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE |
预配置系统
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配置
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技术数据
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4200A-SCS-PK1
高分辨率 IV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率用于两端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析
4200A-SCS-PK1 套件包括：
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 8101-PIV 测试夹具盒，带标准样品
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4200A-SCS-PK2
高分辨率 IV 和 CV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK2 套件包括：
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 电容-电压模块
(1) 8101-PIV 测试夹具盒，带标准样品
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4200A-SCS-PK3
高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
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210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK3 套件包括：
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(2) 4210-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 电容-电压模块
(1) 8101-PIV 测试夹具盒，带标准样品
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4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
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用于使用**硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量
4200-BTI-A 套件包括：
(1) 4225-PMU 超快 I-V 模块
(2) 4225-RPM 远程前置放大器/开关模块
自动化检定套件 (ACS) 软件
超快 BTI 测试项目模块
电缆
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